微振动対策?制御
クリーンルームの要求スペックや付帯条件、また建物内?外の振动条件を考虑の上、微振动解析を行います。
微细加工机器や検査装置に要求される人体无感领域のスペックを踏まえ、発生源?构造体?受信点での振动低减対策の効果を実施设计に反映し、完成后にはその効果を検証します。
クリーンルーム床の振动予测シミュレーション
微振动対策には、大きく分けてパッシブ除振システムとアクティブ除振システムがあります。パッシブ除振システムは、床から伝わる振动をスプリングや空気ばねなどにより吸収し、ばね体の固有振动数に応じて床面からの振动を制御する低コストの除振システムです。アクティブ除振システムは、床面からの振动だけでなく机器自体から発生する微小振动などもアクチュエーターにより机械的に除去する除振システムです。
また、パッシブ除振とアクティブ除振を组み合わせたパッシブ?アクティブ除振もあります。