杏吧原创(本社:东京都港区、代表取缔役社长:国谷一彦)は、半导体や精密机器の生产现场で増加倾向にある振动课题に対応するため、无线计测?多点计测?リアルタイム分析を组み合わせた振动计测システム「(仮称)AH-WAVES(Ando Hazama Wireless Agile Vibration Evaluation System)」を开発し、2026年4月より運用を開始します。
1. 開発の背景
半導体市場の急速な拡大に伴い、生産現場では設備更新やライン再構築がこれまで以上のスピードで進んでおり、そのたびに振動环境の確認が求められています。こうした状況の中、「現場状況を迅速に把握したい」「設備移設の可否を早期に確認したい」といったニーズが一層高まっています。
しかし従来は、机材の运搬や设置?配线に多くの时间がかかり、さらに分析には高度な専门知识を要するため、结果の判断までに长いリードタイムが発生していました。新システムでは、无线计测、多点计测、リアルタイム分析により、迅速な振动计测?评価を可能としました。
2. 新システムの特長と効果
① 無線化および多点化(図1参照)
小型?軽量のバッテリ駆动センサとパソコンをWi-Fi接続し、配线なしで振动计测が行えます。
特に、クリーンルームでの振动计测ではケーブル?机材の纯水拭き上げ作业が大幅に削减でき、準备时间が短缩されます。また、3轴振动センサを6台まで接続可能なため、多点での振动を比较?评価することができます。
図1: 振動計測システム
② リアルタイム分析(図2参照)
测定时のリアルタイム分析から、时々刻々の振动评価レベルを表示します。また、任意时刻を选択すると、その周波数成分を表示します。これらと生产施设の情报を比较することで、振动との因果関係を把握できます。
図2:振动计测画面
③ 遠隔監視(図3参照)
インターネット経由で远隔地から现场の计测状况を确认でき、过去データも参照可能です。
常時計測により長期間のデータが蓄積されるため、振動环境の変化の把握や実質的な振動許容値の推定が可能です。
図3:远隔监视机能
3. 今後の展開
当社のお客様に向けて本システムの展开を推进し、现场での利用を通じて、ニーズに合った使いやすいシステムへと改善を続けていきます。また、単なる计测にとどまらず、生产现场の安定稼働と品质向上に贡献する运用支援へと発展させていきます。